电感测微仪是一种能够测量微小尺寸变化的精密测量仪器,它由主体和测头两部分组成,配上相应的测量装置(例如测量台架等),能够完成各种精密测量。
例如,检查工件的厚度、内径、外径、椭圆度、平行度、直线度、径向跳动等,被广泛应用于精密机械制造业、晶体管和集成电路制造业以及国防、科研、计量部门的精密长度测量。目前,国内常用的电感测微仪有指针式和数字式两种,存在的问题较多,如高精度测量范围小,零位调节不方便、功能单一和通用性差等。它通过编制软件实现仪表的高精度、智能化、多功能化,经过反复的实验与使用,已证明其精度高、操作方便、性能稳定。
主要的技术指标
⑴测量范围:0~±30μm档及0~±500μm档;⑵示值误差:0~土30μm档为0.1μm,0~±500μm档为1μm;⑶分辨率:0~±30μm档为0.01μm,0~±500m档为0.1μm.⑷极性:当测量值为负时,自动显示"-";为正时,无极性符号。













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