膜厚控制仪看晶振片薄膜厚度原理﹕

　　把晶振片放入真空室内的探头中，唯一显示晶振片正在工作的是膜厚控制仪。膜厚控制仪是如何工作的

　　膜厚控制仪用电子组件引起晶振片的高速振动，约每秒6 百万次(6MHz )，镀膜时，测试每秒钟振动次数的改变，从所接受的数据中计算膜层的厚度。绝大数晶振片一秒钟可以完成多次这样的计算，实时告知操作人员晶振片上和真空室内基体膜层沉积速度。为了确保晶振片以6MHz 的速度振动，在真空室外装有“ 振荡器” ，与晶控仪和探头接口连接，振荡器通过迅速改变给晶振片的电流使晶振片高速振动。一个电子信号被送回晶控仪。晶控仪中的电路收到电子信号后，计算晶振片的每秒振速。这个信息接着传送到一个微处理器，计算信息并将结果显示在晶控仪上。

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