机器人紫外传感芯片的响应度，根据材料体系和波长范围，可以达到0.1 A/W到0.5 A/W甚至更高。响应度定义为输出光电流与入射光功率之比，单位安培/瓦特（A/W）。对于紫外波段（200~400nm），常用的芯片材料有碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）、氧化锌（ZnO）以及金刚石等宽带隙半导体。其中，SiC紫外探测器的响应度在280nm处可达0.13~0.18 A/W，而GaN基探测器的响应度在360nm附近可达0.2~0.3 A/W。最新研究的AlGaN雪崩光电二极管（APD）在紫外线性模式下响应度可超过10 A/W（因为雪崩增益），但通常标称的响应度是非雪崩值。

  具体产品实例：德国Silicon Sensor公司的SiC紫外芯片（如SD-012-13-241），在260nm波长的响应度为0.14 A/W，暗电流极低。美国Hamamatsu的GaN紫外传感器（如S1337-1010BQ），响应波长范围190~400nm，峰值响应度在360nm处为0.18 A/W。国内中科赛飞公司的SiC紫外光电二极管，在280nm的典型响应度为0.15 A/W。而台湾EPILED的EUV-UV系列，使用GaN-on-Si技术，峰值响应度0.23 A/W。需要特别说明的是，响应度与波长强相关，在紫外边缘（<250nm）响应度会下降一个数量级，因为光子能量太高，表面复合严重。

  机器人紫外传感芯片主要用于电弧检测、火焰探测（紫外波段）以及紫外消毒机器人中的强度监测。对于紫外消毒机器人，需要检测UVC波段（254nm）的辐照度，此时芯片响应度通常较低，一般在0.05~0.1 A/W。为了提高响应度，可以外加前置放大电路。另外，还有一种紫外-可见盲探测器，其对可见光的响应度极低（<10^-9 A/W），而对紫外的响应度仍保持0.1 A/W以上，这种特性对避免环境光干扰非常重要。目前市场上响应度最高的商用紫外芯片是AlGaN雪崩光电二极管，在增益可控的线性模式下，可达2~5 A/W，但暗电流也同步增大。

  对于大多数移动机器人应用，0.1~0.2 A/W的响应度已经足够，配合跨阻放大电路可以检测到nW级别的紫外光。例如，电弧机器人通过检测250nm附近的紫外脉冲，响应度0.15 A/W时可在10米外可靠探测到高压电晕。未来随着钙钛矿紫外探测器的研究进展，有望实现响应度超过1 A/W且成本低廉的柔性紫外传感芯片，届时机器人紫外感知能力将大幅提升。