卓胜微 MAX-SAW 滤波器是基于声表面波（SAW）技术的一种滤波器，其工作原理与传统 SAW 滤波器类似，但在材料和结构上进行了创新优化，具体如下：

一、声表面波（SAW）技术的基本原理

SAW 滤波器的工作基于压电效应和声表面波传播特性：

1. 压电效应激发声表面波：
2. 在压电材料（如石英、铌酸锂等）表面制作叉指换能器（IDT），当输入电信号通过 IDT 时，由于压电效应，材料表面会产生机械振动，形成沿表面传播的声表面波。
3. 声表面波的滤波作用：
4. 声表面波在传播过程中，会与滤波器表面的特定结构（如反射栅、沟槽等）相互作用，不同频率的声波因波长差异，会被选择性地反射、透射或吸收，最终在输出端通过 IDT 将声信号重新转换为电信号，实现对特定频率信号的滤波。

二、MAX-SAW 滤波器的技术创新与工作原理优化

卓胜微 MAX-SAW 滤波器通过材料创新和结构优化，在传统 SAW 原理基础上提升了性能，核心机制如下：

1. POI 衬底材料的应用

• 材料特性：采用多孔氧化硅（POI）衬底，相比传统 SAW 滤波器的蓝宝石或硅衬底，POI 衬底具有更优的声学特性（如更低的声损耗、更稳定的弹性常数）。

原理优势：

• POI 衬底的低损耗特性减少了声表面波传播过程中的能量衰减，提高了滤波器的品质因数（Q 值），从而提升带内插损和带外抑制性能。
• 其结构设计可有效控制声表面波的传播速度和波长，使滤波器在 sub-3GHz 频段仍能保持高效滤波能力（传统 SAW 在 1GHz 以上频段性能衰减明显）。

2. 氧化埋层与结构优化

• 内部结构创新：在压电层和功能层表面以下增加额外的氧化埋层。

对工作原理的影响：

• 改善频率温度系数（TCF）：氧化埋层的热膨胀系数与压电材料匹配度更高，可降低温度变化对声表面波传播速度的影响，使滤波器在宽温范围内保持频率稳定性。
• 提升 Q 值与能量效率：氧化埋层减少了声表面波向衬底内部的能量泄漏，降低了损耗，同时优化了压电材料的机电耦合系数，使滤波器在高频段仍能保持高能量转换效率。

3. 多频段适配与集成设计

• 工作原理拓展：通过优化 IDT 的指条间距、周期数及反射栅结构，MAX-SAW 滤波器可适配 5G sub-6GHz 频段（尤其是中低频段）的多频段需求。
• 集成化设计：基于 POI 衬底的工艺兼容性，可将多个不同频段的滤波单元集成在同一芯片上，通过声表面波的空间分布和相位控制，实现多频段信号的同步滤波，满足射频前端模组化的集成需求。

卓胜微 MAX-SAW 滤波器的工作原理以传统 SAW 技术为基础，通过 POI 衬底材料创新和结构优化，在声表面波的激发、传播及滤波过程中实现了性能突破，尤其是在 sub-3GHz 频段兼具高性能与成本优势，更适配 5G 射频前端的小型化、集成化需求。未来随着异质异构技术和模组化集成的发展，其工作原理将进一步与多技术路径融合，提升综合滤波能力。